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      江陰典譽新材料科技有限公司

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      銅背板

      背板材料的選擇需考慮以下因素:
      背板材料和靶材的熱傳遞性;
      導電性;
      抗冷卻水壓的機械性能及熱循環效果;
      重復利用性。

      背板的作用:
      在濺射過程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料;
      在濺射過程中起到熱傳遞的作用。

      我司目前可以提供以下背板材料:
      無氧銅背板
      無氧銅背板為使用最廣發的背板,其具有良好的導熱性和導電性,且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。
      鉬背板
      鉬背板適用于高溫綁定,然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當銅背板與靶材的熱膨脹系數不匹配時,鉬背板可與一些熱膨脹系數小的靶材匹配。
      不銹鋼背板
      不銹鋼背板通常適用于旋轉靶的背管,成本較低且可回收利用。

      此外,我公司也可生產鈦背板,銅鋅合金背板和銅鉻合金背板等等。

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